二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293814146 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676晶片研磨、研磨和抛光设备是一种用途广泛的设备，设计用于处理各种尺寸的半导体晶片。该系统旨在为制造集成电路所涉及的所有过程提供一个经济高效的单单元平台。IPEC 676采用机械和化学工艺的组合，以达到所需的表面光洁度。这台机器配备了6轴机械臂，设计用于移动和定位生产周期所需的一系列工具。手臂包括真空安装的晶片卡盘和各种工具主轴。此外还有一个集成气动、可变级速度控制和再循环的工艺室，以及一系列满足各种工艺要求的标准配件。WESTECH 676包含了一个与传统研磨系统类似的独特的计算机控制研磨工具。晶片被放置在卡盘中，机械臂将它们移动到磨轮上。计算机使用特殊的研磨磨料控制研磨轮的速度以及施加在晶片上的压力。研磨过程完成后，机械臂将晶片移动到化学研磨过程。将化学蚀刻剂引入晶片，该晶片用于清除研磨过程中残留的碎片或残留物。研磨过程完成后,将启动抛光步骤。手臂将晶片置于抛光垫上，抛光垫用各种磨料磨损，以达到理想的抛光效果。抛光工艺进一步细化晶片表面，并清除研磨阶段遗留下来的残留碎片。抛光过程完成后，对晶片表面进行最后冲洗。这种冲洗是为了去除任何抛光残留物，以及提供一个干净，光滑的表面光洁度。NOVELLUS 676旨在提供一个高度通用、高效和经济实惠的平台来处理复杂的集成电路。该资产采用机械和化学技术来实现所需的表面光洁度，并可支持各种工艺，包括研磨、研磨和抛光，具体取决于正在执行的特定集成电路。676晶片研磨、研磨和抛光模型是半导体晶片制造的有效解决方桉。