二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293830228 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676设备是一种坚固、多级的晶圆研磨、研磨和抛光机,专为先进的薄晶圆加工而设计。它为直径不超过6英寸的基板提供可靠、高精度的研磨、研磨和抛光,并提供1,200至4,000 RPM的自适应速度范围。系统由具有驱动机构、研磨头和抛光头的基座单元组成；用于晶片装卸的多个臂；以及各种配件。研磨头和两个抛光头为基材加工提供了必要的平台。研磨头包括一个不可渗透的真空波纹管装置，防止泥浆液滴沉积在晶片上，或夹在真空波纹管内。可调节的速度范围（1,200至4,000 RPM）允许精确控制研磨和抛光时间。两个抛光头能够在每个晶片上施加高达200磅的力，在加工过程中提供耐用性和准确性。此外，IPEC 676 Machine还包括一个收集废旧磨削材料的真空工具，以及一个控制元件温度的空气资产。空气模型旨在将温度保持在110°C以下，循环空气体积可调，以最大限度地提高空气流动效率。晶圆也通过可调夹具精确定位在拍头上，机器可以配置为手动或自动操作。该机配备了包括灯帘、紧急停止装置和风险分析电路在内的安全功能，不断评估潜在风险，以确保机器的安全。WESTECH 676设备适用于精密薄片加工，是半导体和超导器件批量生产的理想选择。