二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9091546 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676是一款生产级、多元件晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在为半导体制造和材料开发应用提供卓越的铣削能力。该系统旨在对不同尺寸和形状的晶片进行广泛的研磨、研磨和抛光操作，实现严格的工艺控制和高产率。IPEC 676由两个主要组成部分组成。第一个是一个封闭的工作室，容纳研磨和研磨操作。在腔室内部，一个工作台最多可容纳40个晶圆，工作区由集成的除尘单元保持清洁。刀头绕着桌子转动，利用高精度的磨轮和抛光垫对晶片进行研磨和拉圈。此外，该表是可调的，以确保最大精度和均匀研磨和研磨操作的大小晶片。第二个组件是集成控制机器,它提供高级编程和自动化功能来监视、控制和调整刀头的运动和压力设置。此工具具有用于数据输入和审阅的图形界面、高度可定制的数据管理以及性能优化算法。WESTECH 676是一种完全自动化的资产,能够满足最苛刻的要求。由于其集成的组件,它提供了卓越的精度和质量,其先进的自动化功能使操作员能够完全控制研磨和研磨过程。此外,它具有高度可定制的数据管理和性能优化算法,可以快速测试和识别过程状态,并对测试结果进行清晰、简单的分析。SPEEDFAM 676是半导体和材料行业中大小晶圆研磨、研磨、抛光要求的完美解决方桉。