二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9212984 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676晶圆研磨、研磨、抛光设备是半导体和电子行业表面制备的高度通用、技术先进的系统。它是一个独立的单元，能够在一系列特定于应用的晶片（如PAD、ARX和BOPP）上研磨和抛光直径达12英寸的晶片，表面光洁度为Rmax/Rz ≤ 8.0µm。该装置能够在高达150毫米/秒的速度下进行研磨、研磨和抛光,由于其高性能和精确度,强烈建议将其用于300毫米晶片。IPEC 676利用了最新的磨料技术,提供了多种特性和功能。它具有坚固的双主轴设计,可同时研磨、研磨和抛光两个晶片。高度刚性的XY级可确保晶圆的精确运动,而敏感的Z级可在一系列晶圆上实现更精细的表面平面化。研磨/研磨/抛光台由BLC-40环氧树脂基材制成，耐污染和翘曲，还包含一台获得专利的直边持有机，可确保整个晶片的研磨和抛光压力相等。易于使用的图形用户界面使操作员能够准确地对机器进行编程，并监控晶圆的性能。除了晶圆研磨、研磨、抛光外，WESTECH 676还具备RIE、DRIE、蚀刻工艺等能力。它包括一整套安全功能，如嵌入式声学监视器、防绑定传感器和灰尘管理系统，以确保操作员和晶片的安全。该工具还配备了PC控制功能,可实现多种功能,包括监视操作、诊断和文档。SPEEDFAM 676是一种高度可靠和高效的资产,非常适合一系列晶圆表面制备应用。