二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9304134 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于生产先进的半导体集成电路（IC）封装。该系统具有磨削、研磨和抛光三个阶段,可生产出质量最高的晶片.在研磨阶段，IPEC 676单元使用先进的直接驱动主轴电机以10,000 RPM的标称转速旋转，使其能够在不影响质量的情况下高速处理晶片。研磨阶段使用磨料介质，如金刚石或氧化铝，嵌入镀锌钢轮中，以去除晶圆表面多余的材料。这会产生可能导致微裂纹的热冲击，而WESTECH 676机器则通过控制磨轮温度的原位装置来阻止。研磨阶段使用松散的磨料，如金刚石粉或氧化铝粉末，降低晶片的表面粗糙度。研磨过程在介质浆料中进行，机械振动由自动控制器施加在研磨板上，以确保结果一致。SPEEDFAM 676工具的最后阶段是抛光阶段。在此过程中，晶片以低速旋转，抛光垫以高度受控的方式在晶片表面移动。这有助于去除晶片的粗糙度并创建光滑的光洁度。该资产具有带有直观图标的图形用户界面,可帮助浏览不同的处理阶段。该模型还包含各种针对不同晶圆类型的内置过程配方，以及用于数据收集和分析的模块。这有助于确保一流的质量控制,并提供高效的性能。总体而言,NOVELLUS 676是一种先进的解决方桉,用于研磨、研磨和抛光精密的IC封装,具有直观的用户界面和通用的过程控制功能。该设备旨在提供快速的结果,同时保持高精度和一致性。