二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #293622358 待售

ID: 293622358
CMP Polisher.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676是一种高度先进的工业设备,用于半导体晶片的研磨、研磨和抛光。它是为实现传感器控制的最大精度而设计的,对最具挑战性的材料具有极好的双面几何精度和较低的残余表面缺陷。该系统基于与单元主体相连的6轴机械臂,允许主轴与主体之间进行晶圆交换。本机可支援多个主轴,设计可容纳广泛的晶圆尺寸和材料。每个主轴设计为独立运行,从而可以有效利用可用空间。该机采用高速伺服电机驱动,控制主轴的速度和位置。主轴连接到4轴旋转台上,该台能够在顺时针和逆时针方向上以高达3600 rpm的速度旋转。这样可以达到完美的角度和研磨速度。IPEC Avantgaard 676配备了专利导热头,能够精确控制晶片的温度。这样可以在晶片上实现均匀冷却,以避免扭曲或压力。该机还采用了高效的除尘工具,以尽量减少粉尘磨削,帮助保持工作环境的安全和空气中的颗粒。此外,资产还配备了自己的检查摄像头,从而可以检查结果的质量。为确保获得最佳效果,该模型配备了高精度的手写笔探针,能够准确测量晶圆粗糙度。高速切割、精确的温度控制、完美的研磨角度和最高的质量保证相结合,使得WESTECH Avantgaard 676成为半导体晶片研磨、研磨和抛光的理想选择。
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