二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #293635157 待售
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NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676是一款高科技晶片研磨、研磨和抛光设备,设计用于在半导体晶片上产生复杂而精确的形状。该系统的特点是具有6轴高性能控制的研磨单元,结合了先进的驱动单元和软件,达到准确、可重复的效果。该机还利用专利的力控制技术最大限度地减少研磨力,这有助于降低芯片损坏的风险。IPEC Avantgaard 676有几个人性化的特点来简化操作,比如方便进入主磨削调理单元,可调节工艺速度选择,可调节压力设置,以及自动"stop-go"技术来减少磨损。此外,该工具包括6种不同的研磨模式,从全资产研磨到微调,以适应每个工艺的需要。其自行调整研磨参数的能力确保了所期望的结果得以实现,无论是在工艺开发、工艺适应还是部件生产中。控制计算机监视、记录和存储所有操作参数,提供详细的输入/输出数据集以简化制造过程。WESTECH Avantgaard 676还配备了安全功能,如以太网灯幕、坚固的机械结构和紧急停止装置。该模型具有2组卡盘和3组伺服驱动夹具,所有这些夹具协同工作,以确保均匀的材料去除和抛光。研磨装置具有可编程的研磨路线、压力控制设置以及简化物料去除过程的自动化操作。可移动主轴允许简单易用的位转换。NOVELLUS Avantgaard 676的操作温度比大多数其他磨床都要高,允许改进芯片的去除。其先进的过滤设备确保研磨介质和空气传播颗粒有效地从工艺中去除。这减少了磨削过程中对芯片和其他组件造成损坏的可能性。Avantgaard 676还针对不同的应用要求提供了研磨介质的选择,包括金刚石、陶瓷和矿物基研磨介质。其庞大的晶圆容量还可以实现更高的吞吐量和更少的停机时间。最后,可以对系统进行定制以适应多个产品系列,从而为高级半导体制造过程提供经济高效的解决方桉。
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