二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9276834 待售
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ID: 9276834
CMP System, parts machine
With MP400 Polisher
Interconnecting cables
Throughput: >40 Wafers/hr
Fully automated cassette to cassette (C2C)
(4) Wafer planarizers
Endpoint detection
Dual pad conditioning
Electrical cabinet
Spray box assembly
Automated wafer handling robot
Wet cassette assembly
Dual cassette basin
System Control (SysCon)
Control station
Head assembly
Internal bearings
Polish dynamics
Polish pad
Endpoint detection system
Manual
Includes:
Main polishing unit
Chase control panel
GENMARK Gencobot 3L / 4 Robot with end-effector
(25) M-825 Wafer address sensors
Chemicals:
Hydrogen peroxide concentration: 7.4% to 50%
W2000 Semi-sperse: DI Water and proprietary metal oxide
Power supply: 120/208 VAC WYE, 3 Phase, 60 Hz, 60 A.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676是先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备。该系统旨在对各种过程进行精确控制,确保获得最高质量的结果。Avantgard 676配备了大功率的金刚石磨头，用于将半导体晶片的表面磨碎。这个头可以达到小于0.4微米的晶粒大小。Avantgard 676还配备了变速高达120 rpm的研磨单元，用于将晶片抛光至光滑、均匀的表面。这台研磨机的头部能够达到小于0.6纳米的表面粗糙度。Avantgard 676配备了强大的四点伺服控制抛光工具。该资产采用了专利的"伺服抛光"技术，使操作员能够对抛光工艺进行极大的控制。Avantgard 676还采用了先进的IPEC清洗模式，利用加压的氮气射流去除磨削研磨过程后残留在晶片表面的微小颗粒。这项技术有助于确保晶片表面尽可能清洁，不受污染。此外,Avantgard 676还设计为用户友好且高效。其操作员界面具有触摸感应显示器，便于访问设备的控件，并具有针对特定应用程序的预设程序。它还具有一个内置的诊断系统,可以识别并提醒人员在出现问题时注意这些问题。该机还配备了综合监控警戒单元，有助于减少停机时间，确保研磨、研磨、抛光过程平稳运行。总体而言，IPEC Avantgaard 676是一款先进的机器，可以让操作员快速、准确地研磨、研磨和抛光半导体晶片。此工具具有强大的金刚石磨头、研磨资产和抛光模型,可精确控制过程。此外,它还具有用户友好、易于使用的接口和监控系统,可帮助减少停机时间并确保获得最高质量的结果。
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