二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9300859 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676（AG-676）是一种自动晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于半导体晶圆的精密加工。它是一种能够实现微米级精度和可重复性的高科技设备。该AG-676配备了多种先进的功能，包括用于处理工件的强大机器人臂，以及用于反馈控制和自动故障检测的基于视觉的系统。提供了一个带有一组可互换磨盘组件的伺服控制磨头，每一个都是为了适应不同的晶圆加工要求而设计的。磨头具有高速振荡磨盘、精确调节旋转角度的能力，实现了较高的加工精度和重复性。此外,磁头还支持快速更换研磨盘,以最大程度地减少过程中断,并实现过程中锯片和研磨阶段之间的快速切换。该AG-676还配备了集成真空多槽抛光台，为各种模具尺寸提供了快速一致的操作。该单元还能够支持挂钩和环路或磁性安装抛光垫的操作。此外，AG-676还配备了高速机器人臂，用于将晶圆从研磨输送到抛光头。机器人手臂具有高速率振荡和牢固准确地握住工件的能力，确保了在不产生颗粒污染的情况下的最佳运输机制。这也大大缩短了周期时间，提高了机器的吞吐量。该AG-676还配备了一个可选的视觉工具，允许在过程之前和过程中自动检测和检查晶片缺陷。该资产能够高速捕获晶片的图像,并将图像与设置标准进行比较,从而提供一个故障安全模型,能够快速准确地检测缺陷。该AG-676提供了卓越的价值，是管理晶圆研磨、研磨和抛光任务的有效和可靠的解决方桉。此外,该设备能够容纳所有类型的常用半导体晶片形状,使其成为一种高效的设备,可为用户提供更高的吞吐量和更低的成本。