二手 NTS 36G DMP SL910-AFCL #9268069 待售
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NTS 36G DMP SL910-AFCL是NTS Japan为加工高品质晶片而设计的最先进的晶片研磨、研磨和抛光设备。该系统由直径36英寸的晶圆磨轮和直径8.5英寸的研磨抛光轮组成,它们同时旋转并保持彼此接触。研磨轮由交流电动机驱动,研磨抛光轮由无刷直流电动机驱动。磨轮采用金刚石晶粒和聚氨酯弹性体的组合,使其能够以3500 rpm的转速精确研磨晶片。一系列输送带确保晶片顺利装卸到机器中。两轮单元可确保磨削更复杂的几何形状,对晶片表面的损坏最小。研磨和抛光轮使用金刚石颗粒和橡胶粘结的组合进行抛光。研磨过程完成后,研磨和抛光轮转动到6000 rpm的速度。这样可以去除磨削后留下的表面残留物,并产生光滑、光滑、透明的光洁度。该车轮具有最小圈长,可减少抛光过程中产生的损失。处理器还配备了6台功率输出可变的RF机器,可根据晶圆的大小进行调整。该机还由一个可调节速度和角度的真空转盘组成。这样即使在非常大的晶片上也能确保更好的表面光洁度。总体而言,36G DMP SL910-AFCL是提供半自动操作的高级工具,具有用户友好的功能,如数字显示器。其集成的资产和高效的功率输出确保晶圆的精确研磨、研磨和抛光,这有助于达到最高质量的结果。
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