二手 NTS Nano Surface SL910-AFCL #9132557 待售
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ID: 9132557
优质的: 2008
Single diamond polishing systems
Polishing heads
Plate non step variable speed system: Smooth start / Stop feature
(4) Holder type pneumatic pressure systems / Level type
Real-time control temperature
Automatic diamond slurry spray system: 2 Points
4-Axis pressure plate water cooling system
(2) Pneumatic step pressure systems: Cylinder ф80 x 200 st
Machine emergency auto-stop function
Hume protective / Exhaust system
Spindle housing system
Lapping plate water cooling system
IR Temperature reading system
Pressure plate: ф360 (Sus 304)
Drop slurry supply system
Timer (Process time)
Solid frame structure
Hand shower: 2 Spots
(2) Auto stirrers
(2) Spray nozzles
Plate: 15~80 RPM
Semi-automatic:
Precision lapping plate facing and grooving system
One time grooving: 150 um Deeps
Input voltage: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase
Main motor: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 7.5 kW
2008 vintage.
NTS Nano Surface SL910-AFCL是一种晶片研磨、研磨、抛光设备，专为硅片生产的苛刻要求而设计。该系统能够生产具有纳米级表面饰面的高质量硅片，为制造商生产最灵敏的器件提供可靠高效的工具。该装置采用带有电动头的研磨板，以及各种复合研磨和研磨盘，在晶片两侧产生完美无瑕的光洁度。该机的一个特色是其自动冲洗控制液体（AFCL）技术，该技术允许刀具在加工时将化学试剂自动分配到研磨板表面上，提高了成品的表面光洁度和整体质量。陶瓷磨盘可调节，以设置每个晶片工艺所需的适当研磨和研磨水平。磨料盘具有广泛的粒度法，用于微调表面光洁度和去除纸张，从而实现各种光洁度。这种自动化资产可以从单个控制点操作,并具有直观的界面,可指导操作员完成整个过程。Nano Surface SL910-AFCL上的变速驱动器允许对研磨过程进行精确控制,从而可以轻松实现工作所需的精确表面光洁度和厚度。模型自动对晶片保持一致的压力,以确保提取指定的表面光洁度和厚度。温度被控制，以防止晶片上的热量增益和尽量减少任何热损害。SL910-AFCL设备具有多种安全特性，为操作员和正在加工的材料提供保护。带有真空系统的双门通道可防止微粒在机器运行时逸出到工作区域。该单元还按照ESD要求进行设计，以防止晶圆受到静电损坏。总体而言，NTS Nano Surface SL910-AFCL是一种可靠、高效的晶圆研磨、研磨、抛光机，能够生产出具有纳米级表面饰面的高品质硅片。其自动冲洗控制液体技术和其他功能使该工具能够在晶圆上保持一致和精确的光洁度。SL910-AFCL具有直观和用户友好的界面,是各种应用程序的理想资产。
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