二手 NTS Nano Surface SL910-AFCL #9226058 待售
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ID: 9226058
优质的: 2008
Single diamond polishing system
Polishing heads
Plate non step variable speed system: Smooth start / Stop feature
(4) Holder type pneumatic pressure systems / Level type
Real-time control temperature
Automatic diamond slurry spray system: 2 Points
4-Axes pressure plate water cooling system
(2) Pneumatic step pressure systems: Cylinder ф80 x 200 st
Machine emergency auto-stop function
Hume protective / Exhaust system
Spindle housing system
Lapping plate water cooling system
IR Temperature reading system
Pressure plate: ф360 (Sus 304)
Drop slurry supply system
Timer (Process time)
Solid frame structure
Hand shower: 2 Spots
(2) Auto stirrers
(2) Spray nozzles
Plate: 15~80 RPM
Semi-automatic:
Precision lapping plate facing and grooving system
One time grooving: 150 um Deeps
Main motor: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 7.5 kW
Input voltage: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase
2008 vintage.
NTS Nano Surface SL910-AFCL是由NTS设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于以经济高效且可重复的方式实现晶圆的研磨、研磨和抛光自动化。该系统旨在为先进的半导体应用准备晶片，帮助减少循环时间和提高产量。该SL910-AFCL由高性能、风扇冷却的电动机提供动力,能够产生高达24千瓦的功率。它具有快速收敛研磨技术（RCGT），具有快速高效研磨的速度模式匹配。一个基于PC的机载单元具有一个实时适应振荡器，能够优化磨削和抛光过程的控制。此外，它还配备了一个集成的研磨胶片机，可以集成不同的研磨胶片，以便进一步优化工艺。SL910-AFCL的好处包括几种精确控制选项,包括级别、角度和复杂的多步骤过程,以及一堆高级自动化功能,如负载锁定器、refelex和晶片稀释。而且，它也能够达到sub-2 nm表面光洁度的结果。该工具提供严格的过程控制和可重复性,为批量生产提供高产量,并使用户能够在其过程中采取更少的步骤。为了实现吞吐量的最大化和成本的最小化，SL910-AFCL采用可调节的速度和温度预置来优化晶圆的调平和抛光顺序。此外,它还具有一个用于动态维持压力和力水平的自动调速器资产,以及一个用于自动提升和降低晶片卡盘的电动Platen Lift和Air Lift,以实现更高效、更快的水平和抛光过程。它有一个可用的自动晶片存储器保存模型，使机器能够记住晶片的抛光级别，并为更快的子序列过程提供准确的召回。总体而言,Nano Surface SL910-AFCL是一款功能强大、先进且经济实惠的晶圆研磨、研磨和抛光设备,使用户能够提高工艺产量并缩短周期时间。
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