二手 NTS NML-3020 #9364614 待售

NTS NML-3020晶圆研磨、研磨和抛光设备是最先进的系统之一.该系统设计用于半导体晶片平面和曲面的精密抛光。NML-3020配有用于研磨晶片背面表面的120毫米精密研磨板，以及用于抛光晶片背面、边缘圆角和凹口区域的金刚石圆盘轮。NTS NML-3020单元设有两个垂直主轴（100毫米）和一个水平主轴（50毫米），允许多向研磨和抛光。磨削主轴采用无刷伺服电机驱动，定位快速精准，两个磨削轮具有不同的特性和尺寸。主研磨轮（Diamond Disc Wheel）由研磨金刚石环构成，具有广泛的研磨材料如金刚石、氧化铝、氧化硅和多晶金刚石（PCD）。磨削力由压力换能器控制，以自动调整磨轮的偏转，防止越过。晶圆盘轮装入机器内的主研磨轮，可设定为特定压力，进行精确且可重复的研磨研磨。NML-3020装有两个气体雾化器和一个转速选择器盒，用于晶圆边缘和缺口区域的均匀抛光。实时视频供稿可用于监控抛光过程。该机配备了wafermap软件程序，用于存储所有抛光坐标，并将其作为未来工艺的参考。NTS NML-3020设计有多种安全装置和对策，以确保晶圆研磨、研磨和抛光的最高质量。该工具配备了振动传感器、温度和压力监测器、泄漏检测器以及尘埃处理资产。NML-3020模型适用于介电蚀刻、屏障蚀刻、金属化、化学/机械抛光、背面研磨和抛光以及覆盖面蚀刻等多种应用。该设备旨在为可靠的抛光和高产率提供最佳效果。