二手 NTS NSL-2020 #293765738 待售
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ID: 293765738
Lapping machine
Lapping plate: Φ510×Φ180 (IDxOD)
Ring size: Φ200xΦ162
Lapping plate: 20-150 RPM
Motor drive power: 2.2 kW, 220 V, 3 Phase
Water cooling temperature
Accessories:
Dust cover
Duct hood system
Precision variable multi-step pressure mechanism
Standard plate facing
Grooving system
Wafer thickness eccentricity prevention function: 2 µm
(2) Holder pneumatic pressures
Vacuum chuck type
(2) Holder motor drive systems
Oscillation system
Control: PLC and programming touch screen (HMI)
Consumables:
Copper: 20" x 1/2"
Ceramic conditioning ring NCR-103 for 20"
Diamond slurry roller pump drop system
Auto-stirrer
(2) Slurry tubes: 15 m
Facing bite radius: 60 x 0.3
Power supply: 220 V, 3 Phase, 50/60 Hz.
NTS NSL-2020是一种创新的晶片研磨、研磨和抛光设备,非常适合大量或少量生产任何材料的晶片。该系统提供非常薄（低至5µm）和高质量的表面饰面。NSL-2020具有2轴数控功能,可自动控制主轴速度和工件定位,提供高精度和重复性。这提供了高度的灵活性和成本节省，当涉及到晶圆研磨，研磨和抛光。NTS NSL-2020配有冷却液储存器和过滤器单元，可有效冷却晶片，从而保护晶片免受热冲击并确保其使用寿命。它还允许更加一致和可控的研磨和抛光过程。冷却剂储层和过滤器机还有助于保护研磨和抛光部件免受空气中的研磨粉尘和其他污染物的侵蚀。NSL-2020还配备了一个在线抛光复合进纸器，该进纸器以与研磨工艺相同的速率提供用于研磨、研磨和抛光的抛光化合物，确保在多个晶片上保持一致的光洁度。这种串联进纸器还有助于减少整个过程的总周期时间。NTS NSL-2020还配备了高分辨率CCD摄像头,可轻松准确地检测细小缺陷。这有助于确保在研磨、研磨和抛光过程中的高质量控制。为防止晶片损坏和机器维护,NSL-2020随附磨损监控工具。此资产定期检查磨削和抛光元件的磨损,并自动将此数据下载到PC。NTS NSL-2020还配备了允许实时过程监控的PLC控制器。该控制器还允许用户根据晶圆的特定要求修改和定制研磨、研磨和抛光轮廓。所有这些特性，加上高精度和精确度，使NSL-2020成为大规模生产和/或小批量生产任何材料晶片的理想解决方桉。它还确保晶片的质量始终如一，缺陷最小，均匀度高。
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