二手 NTS S610T-AFCLOM #9248793 待售
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NTS S610T-AFCLOM(Automatic Flat Control Lapping and Opishing Machine的缩写)是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于将硅、的基材和其他材料抛光至极紧密的公差,具有很高的均匀性和重复性。该系统能够制备直径可达50毫米至300毫米、厚度可达3.5毫米的晶片。S610T-AFCLOM采用先进的磨料技术和工艺控制装置,以实现更精确、一致和可重复的抛光。机器配置有6轴机器人服务器,确保晶片在圈板上的精确定位。机器人还允许在自动盒式磁带到盒式磁带的过程中一次运行多达10个晶片的无人值守操作。机械臂可以很容易地重新定位,以适应各种夹具规格。然后,夹具将晶片牢固地固定在适当的位置,同时使用6轴运动施加所需的压力量。该机配备了两个高速旋转的圈板,并使用磨料磨料和浆料的组合来去除材料,达到所需的抛光光洁度。每个圈板包括一个闭环机器,监控关键抛光参数,如负载,速度和压力。这些参数可以进行调整,以实现对工艺的精确控制,并确保每个晶片达到所需的表面光洁度。NTS S610T-AFCLOM也是为清洁和安全而设计的。压缩板消除了外部颗粒的任何潜在污染,闭环反馈工具使机器保持准确和安全的运行。该资产被封装在一个低噪声、全焊接的安全柜中,配有安全门、周边安全灯栅和紧急停止按钮,以提供额外保护。总之,S610T-AFCLOM是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光模型,旨在满足业界最苛刻的要求。该设备提供高精度、可重复性和灵活性,允许自动生产高质量、高公差的晶片。它的闭环反馈系统、安全特性和清洁度确保它能够保持可靠、安全和不受污染的运行。
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