二手 NTS SL510T-AFCLOM #293643166 待售

NTS SL510T-AFCLOM是专门为晶圆研磨、研磨和抛光而设计的专用设备。它是一种自动化的过程控制机器，能够制造直径从25毫米到150毫米的各种晶片。该系统配有真空处理站和自动卡盘，用于固定夹持晶片基板。它具有晶片基板的自动加载机构。机组还设有粗磨磨床、精磨磨床、抛光磨床。研磨站设有水平垂直可调卡盘。它可以处理各种厚度的晶片。研磨站使用镶有金刚石的研磨盘从晶片中取出材料。磨盘可以调整以同时研磨晶片的两侧。研磨站配有石板研磨机和高精度指数机，保证晶片基板的均匀研磨。它可以同时处理单面和双面研磨。研磨板装有可互换的切削插件，用于达到理想的研磨光洁度。抛光站设有抛光台和雾化抛光介质。它能够同时研磨和抛光晶片的两侧。它可以同时处理单面和双面抛光工艺。抛光介质雾化,保证晶片均匀抛光.该工具还包括用于调整速度、时间和压力等工艺参数的高级控制资产。这确保了过程的一致性和可重复性。将自动监视和记录所有参数,如果需要,可以从模型中检索这些参数。SL510T-AFCLOM是一种功能强大、用途广泛的机器，用于制造用于电子应用的晶圆基板。它是针对精度和可重复性进行优化的，能够在最小的操作员干预下实现高吞吐量。其紧凑的设计能够融入小区域，设备为大容量晶圆研磨、研磨和抛光需求提供了完整的解决方桉。