二手 NTS SL610T-AFCL #9158754 待售

NTS SL610T-AFCL晶圆研磨、研磨和国家测试系统抛光设备（NTS）是为半导体工业中先进的材料制备工艺而设计的。该系统由几个主要部件组成，包括：磨盘、顶部晶片支架、底部晶片支架、磨料浆料储存器、流体储存器以及在研磨和抛光过程中气动释放的带子来固定晶片。磨盘能够同时研磨晶片的两侧与精细抛光级金刚石刀片。顶部和底部晶片持有者均匀地分配晶片上的压力，以确保最小的失真。当晶片沿着旋转圆盘移动时，泥浆储存器提供滑动晶片所需的抛光介质。流体储集层在晶片下方的圆盘上提供冷却剂，以确保研磨过程中产生的热量不会对晶片表面造成损害。气动释放的带子在研磨和抛光循环中将晶片压在研磨盘上，从而将晶片固定到位。该单元能够在一个自动化的过程中对半导体晶片进行高效的研磨、研磨、刷刷和抛光,而无需任何人工干预。研磨后，晶片可以通过电化学层的无电沉积返回到种子层。此外，通过使用所需的抛光浆料水平，机器产生高质量、低粗糙度的表面，从而消除表面的不规则性，创造出精细的成品。SL610T-AFCL允许自动晶片处理,从而节省时间和成本。它具有先进的控制系统，安全和可重复性的结果。它以非常精确的尺寸控制和+/-3 μ m精度来处理高达六英寸的晶片。该工具的各种灵敏度程序能够精确研磨，研磨和抛光即使在易碎和困难的材料，如硅，砷和硅绝缘体（SOI）。