二手 NTS SP510T-AFCLOM #293643167 待售

NTS SP510T-AFCLOM是业界领先的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于在各种半导体材料上生产完美平坦的超齿表面。它能够处理从150毫米（6英寸）到600mm （24英寸）的直径。整个系统采用气动操作，其模块化设计允许灵活集成到生产线中。晶片由扁平模块化载波支撑，可重新编程以适应不同的晶片形状、厚度和大小。晶片放置在旋转主轴上,而安装的托架将每个磁盘保持固定位置,以避免在研磨过程中磁盘表面碎裂。顶轮和底轮固定晶片并驱动它通过两个精密加工和对齐的同心圆。车轮压力从0.03 MPa（4.3 psi）可调至0.15 MPa（21.8 psi）。SP510T-AFCLOM还具有横向或垂直切割刀片,可用于消除表面的任何缺陷或不均匀部分。通过可调载流子自旋速率和磨料进料速率来控制材料从晶片边缘的去除。该单元支持广泛的研磨、研磨和抛光工艺，如扁平研磨、精细研磨、抛光和单级应用抛光。磨削速度可以0.01 μ m/min为增量控制,抛光力可从0.03 MPa （4.3 psi）调整为0.15 MPa （21.8 psi）。可以使用各种不同的颗粒和砂砾含量。此外,SP510T-AFCLOMcan最多可节省9个程序,每个程序最多10个步骤,从而提供生产效率和灵活性。这是通过设置过程通过触摸屏显示与用户友好的图形界面来实现的。最后,该机器可与PC集成,用于远程操作和数据交换。NTS SP510T-AFCLOMwafer研磨、研磨和抛光工具是当今市场上最先进的产品之一。它非常适合要求在半导体材料上进行精确表面精加工的应用,从而能够完美高效地生产平坦的超齿表面。