二手 NTT-AT ATP3000-XO1 #9282249 待售

NTT-AT ATP3000-XO1是一种晶片研磨、研磨和抛光设备，为制造半导体和MEMS器件提供精湛的晶片机械平面化。该系统设计可容纳4至6英寸或8英寸晶圆，并采用专利双轴直线电机驱动单元，提供亚微米精度和可重复性。集成的CNC控制器驱动机器,并具有功能齐全的用户界面,允许对诸如进给速率、主轴速度和压力等参数进行编程。刀具的自动研磨和研磨元件会自动调整，选择进料速率、速度和压力的最佳组合，以保证最终晶片表面质量和精度的均匀性。该资产设计采用固定和伺服控制的研磨和研磨板。固定板具有固定的设计,具有一致的物理属性,而伺服控制板可以使用软件进行调整以创建所需的研磨模式。该模型强大的驱动和控制系统,加上其最先进的电机控制,确保了不会损坏晶片的最佳研磨和抛光工艺。除了主要的研磨和抛光设备外，ATP3000-XO1还采用了集成的晶圆去核系统。这个除垢装置使用特殊的工具和技术来有效地平滑晶片上的不均匀表面，而不会造成任何损坏或污染。集成CNC控制的Deburring Machine还具有内置的刀具更换器，从而可以快速交换不同类型的Deburring刀具以获得最佳效率。NTT-AT ATP3000-XO1采用全不锈钢结构建造,在恶劣的操作环境中具有出色的耐用性。该设计还符合EMC在清洁室级别6中运行的标准。此外,该工具的设计既安静又节能,可提供较低的总体拥有成本,而不会影响流程的性能。