二手 OKAMOTO ASM-100A #9143377 待售

冈本ASM-100A是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，用于去除微电子工业晶圆中的材料。它可以处理直径可达150毫米、厚度可达11mm的晶圆尺寸。该系统包括六个工作站；研磨/抛光站、抛光垫站、手动研磨站、半自动研磨站、车轮准备站和后处理站。研磨/抛光站采用旋转和线性运动，用金刚石研磨和抛光介质抛光晶片。它可以产生最小的翘曲或损坏的高精度表面。抛光垫站配有橡胶抛光垫，为准确可控的工艺提供自动化的平整度监控。这个工作站可以处理直径达12英寸的晶片。手动磨床站配有高精度主轴，能够用金刚石车轮梳妆台进行手动磨削。该站可用于晶圆表面的精密研磨和去除污染物。半自动研磨站能够用金刚石研磨轮研磨抛光。它以高速运行，可以达到微米精度水平。车轮准备站设计用于修整砂轮和调整荷载参数，以获得最佳效果。它可以准确地控制和监测敷料过程。最后，使用后处理站对晶片表面进行清洁吹气，以达到均匀的光洁度。由于工作站具有高度的稳定性和控制性，该装置具有很高的精确度和效率，能够产生较低的缺陷率。由于其先进的抛光工艺，它还能够产生高质量的光学表面。这台机器具有高速处理和自动化功能,与手动处理相比,可以实现快速周转和节省成本。