二手 OKAMOTO ASM-100A #9257632 待售

冈本ASM-100A是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于加工和抛光各种晶圆材料，如半导体、复合半导体和先进材料基板。该系统是一个高效、经济高效的单元，用于使晶片达到高度精度的均匀平坦度。整个机器包括一个主单元和几个独立的加工站，可用于各种操作，包括工艺控制、研磨、对准、研磨和抛光。它可以处理3到8英寸不等的材料尺寸，并且能够抛光厚度最高100微米的晶片。ASM-100A工具设计有多种特点，以适应精确研磨和抛光操作。它配备了精密直流（DC）电动机，提供了平稳、均匀的操作，不需要任何校准调整。此外,它还使用钟形罐资产来防止晶片在加工过程中受到任何污染,并使用自动研磨模型来确保均匀抛光。设备的磨盘由一个快速旋转的金刚石镀盘组成，该盘装在可调速度控制器内。这使用户能够选择所需的抛光速度,从20到1000 RPM,使用数字控制面板对其进行实时监控。此外，金刚石镀层圆盘是动态平衡的，以确保在磨削和抛光过程中的高精度。研磨站由气动驱动的研磨板组成，旨在通过抛光颗粒来降低基板表面粗糙度。抛光站由一个行星般的抛光头组成，上面装有一个被称为抛光器的高性能设备。这种设计的设备设计为在抛光的同时向两个方向旋转，使抛光效果均匀准确，变化最小。OKAMOTO ASM-100A旨在提供灵活而强大的流程,旨在满足严格的客户规格要求。该系统旨在满足严格的公差要求,为用户提供高质量的结果和性能。其功能范围允许晶圆的精密抛光，具有灵活的工艺设置，以适应广泛的应用。