二手 OKAMOTO ASM 1G #9258192 待售

OKAMOTO ASM 1G是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于完成和准备晶圆表面，用于后续的工艺步骤。该系统提供了广泛的功能,使制造商能够创建高质量的曲面。该单元专为高吞吐量和多功能性而设计，使其能够处理广泛的晶圆取向，包括直径4英寸和8英寸的晶圆。它还能够单面或双面研磨，以及双面研磨和抛光。该机采用高效OKAMOTO研磨装置，运行速度高达30,000 rpm。磨削单元采用高性能机电工具，由变频器驱动，并提供振动效应的自补。将设备封闭在单个机柜中,以确保研磨过程的受控环境。研磨和抛光过程由专用研磨单元执行，该单元是一种三级环抛光车。产品会自动从一个阶段移动到另一个阶段,并且可以设置参数以实现所需的表面光洁度。该装置采用高密度电镀解决方桉，由内置泵资产分配，并封闭在一个机柜中，以维持受控环境。ASM 1G还包括一个负载/卸载站，允许晶片直接加载到模型中。装卸站配备了多项安全功能，确保人员安全和过程的准确性。OKAMOTO ASM 1G是一款先进、高性能的设备，能够在晶片上实现卓越的表面质量，具有高吞吐量和一致的效果。通过高速研磨、研磨和抛光相结合，能够提供先进半导体生产技术所需的表面光洁度。