二手 OKAMOTO ASM-420M #9216418 待售

OKAMOTO ASM-420M是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计成作为一个完整的、自动化的解决方桉。该系统配有一个双主轴，每个主轴都能处理直径达八英寸的晶圆。这两个主轴提供了对磨床和抛光机操作的独立控制，允许精确的表面整理结果。该单元被编程为自动校准自身以获得最佳流程和生产率，从而减少编程时间。磨削和抛光是通过将晶片放在支架上并将其固定在主轴支架上来实现的。放置晶片后,进行间隙和接触检测以测量表面轮廓和缺陷。磨削过程由位于每个主轴上的两个磨轮实现。主轴具有线性加速度和减速度，可调节，以确保晶圆的精确研磨。抛光过程通过位于垂直轴上的零件更换抛光器完成。这允许抛光垫以圆周运动向上、向下和横向移动。然后将晶片经过研磨和抛光后转移到后端。该模块由晶圆脱熔机和可选的后处理模块组成。脱胶工具使用旋转刷子和化学溶液从表面清除最后残留的污染物。后处理模块用于通过化学手段进行检查和调整表面粗糙度。整个工作流程由工艺监控资产监控和管理,该资产用于测量和记录研磨和抛光温度、间隙和接触。该模型提供对工艺参数的完全控制，允许处理大量晶片，同时保持一致的质量。ASM-420M是晶圆研磨、研磨和抛光的高效解决方桉,具有卓越的灵活性和可扩展性。它的高级性能和过程控制确保了可靠和可重复的结果,而它的自动化操作允许减少设置和编程时间。