二手 OKAMOTO GNX 300 #9014254 待售
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OKAMOTO GNX 300是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于在多种材料上提供高精度的表面光洁度,包括硅、石英、陶瓷和半导体基板。该系统结合了最新的研磨、研磨和抛光技术,为用户提供无与伦比的性能和可靠性。OKAMOTO GNX300配备了风冷工业级主轴,能够以2,000 RPM至15,000 RPM的速度进行研磨、研磨和抛光操作。主轴由三轴直驱伺服电机单元控制,能够在硬质或脆性晶片上产生极细的表面光洁度。主轴在生产中的精确控制可以产生高精度的结果。GNX-300还配备了一个高分辨率的数字成像机,用于监测每次操作的进度并确保严格的过程控制。这包括一个高放大倍率的照相机,当与频闪照明配合使用时可以放大和显示高达600倍,允许立即检查表面缺陷和地形特征。所有拍摄的图像都可以与存储在工具上的参考进行存储和比较,并随着时间的推移进行跟踪。资产还配备了旨在保护操作员和设备的安全功能。其中包括防止意外激活的安全互锁和防止未经授权访问模型的锁定设备。GNX300还具有一个灵活的工艺室,具有300毫米的工作范围和各种可定制的研磨,研磨和抛光轮。OKAMOTO GNX-300还提供了一系列集成的自动化系统和直观的用户界面软件来简化操作。集成的面向图形的软件允许对研磨参数进行可编程的调谐,使得设置多个生产运行变得快速和容易。该设备还具有集成环路控制系统,确保在晶圆运行期间保持严格的过程控制。GNX 300是一种创新的晶圆研磨、研磨和抛光装置,可提高生产率、提高表面精度和安全操作。通过效率与性能相结合,OKAMOTO GNX 300是先进晶圆处理操作的理想机器。
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