二手 OKAMOTO GNX 300 #9136113 待售

OKAMOTO GNX 300是为半导体制造工艺而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统具有坚固的结构、精密机械和先进的控制单元，可生产光滑、平整、均匀的晶片表面。OKAMOTO GNX300包括具有闭环控制的高精度主轴电机,用于精确的晶圆定位。这种电动机可以更好地控制表面研磨过程，产生高度表面平滑和均匀的300 mm晶圆的能力。主轴电机能够产生高达12Nm的扭矩,转速高达6000 RPM。再者，由于精确的闭环控制，机器也能在多次通过中保持高精度，减少表面不规则，产生更好的效果。此外,GNX-300还包括单面和双面研磨系统。这允许晶圆边缘和表面的研磨，提供优越的表面平面化和均匀性。该工具能够达到非常精细的研磨效果，表面饰面高达0.3 µm RA。该机制还允许高速处理，以减少设置和循环时间，同时提供一致的晶圆结果。GNX 300还包括抛光资产，其中包括双皮带抛光。这提供了以均匀结果同时抛光晶片两侧的能力。抛光模型可实现晶圆表面微细光洁度，达到1nm表面粗糙度。最后，OKAMOTO GNX-300拥有具有多种工艺配方和工艺监控能力的先进控制设备。这为研磨、研磨和抛光提供了灵活可靠的精密工艺控制.系统还有一个直观的用户界面，允许操作员提高设备的工艺效率，并确保各种晶圆类型和尺寸的结果一致。综上所述,GNX300提供了全面的晶圆研磨、研磨和抛光机,可提供高精度功能、高级控制功能和坚固的结构,从而提高工艺可靠性和性能。该工具非常适合于半导体生产过程，使晶圆加工的复杂过程无忧。此外，OKAMOTO GNX 300能够以更高的精度和更高的输出产生高质量的结果。