二手 OKAMOTO PSG-408DXNCZ #9395045 待售
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冈本PSG-408DXNCZ是一种全自动、最先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统。采用最新的磨料技术,设计为各类半导体、平板、显示屏等精密玻璃基板提供均匀、精确的研磨。它具有1纳米(nm)的表面粗糙度Ra值和8英寸(203.2毫米)的最大晶圆尺寸。该系统配备了全自动装载机/卸载机伺服驱动器、八个独立的研磨/抛光站、两个激进的研磨站和两个抛光模块。专用伺服驱动器允许以最小的噪音水平平稳运行。八个研磨/抛光站的设计目的是为研磨和抛光提供高精度和精确度。这两个具有侵略性的研磨站旨在通过使用金刚石浸渍的磨料膜来制备玻璃基板。抛光模组旨在减少玻璃基板上的表面粗糙度,同时实现高精度和优异的重复性。此外,PSG-408DXNCZ可以与各种数据采集系统集成,包括数据采集包、连接性和基于Windows的图形用户界面。通过此界面,用户可以访问实时性能、过程控制和反馈。操作员可以创建自定义的过程程序以在系统之间共享,以及自动存储、检索和比较研磨和抛光结果。微处理器控制的晶闸管和固态压力控制模块对研磨/抛光材料保持恒定压力,确保最高的研磨/抛光速率和最一致的结果。使用触摸屏参数可以调整各个工艺参数,以达到最佳的重复性和精密研磨/抛光效果。全自动系统能够单批和串联处理多达400个晶圆。此外,所有过程结果都会自动存储,以供将来参考和统计分析。OKAMOTO PSG-408DXNCZ的先进设计和制造使其成为精密研磨和抛光几乎所有类型玻璃基板的理想选择。
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