二手 OKAMOTO / SHIBAYAMA VG 502 MK II #9219357 待售

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OKAMOTO / SHIBAYAMA VG 502 MK II
已售出
ID: 9219357
晶圆大小: 8"
Back grinder, 8".
OKAMOTO/SHIBAYAMA VG 502 MK II是为精密晶圆和光学製造而製造的最先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备。OKAMOTO VG 502 MK II基于三级研磨抛光系统,由直径8英寸的旋转压板、变速旋转研磨臂和台式抛光垫组成。首先,晶片材料放置在一个固定的底板上,旋转的压板在旋转时将晶片材料固定在其上。这个底板可以调整到多个不同的角度,允许同时进行印迹和边缘磨削。8英寸的压板由可调节的速度计时器驱动,可以从0-180 RPM转动。其次,变速研磨臂再用于抛光晶圆。它贴在压板上,可以向外延伸,以完成金属和其他晶圆材料的抛光和研磨。手臂可以从0-1800 RPM调整,允许抛光到每分钟400角。最后将晶片放置在台式抛光垫上。该焊盘是可调的,允许在晶片的两侧,以及边缘一致的光洁度。安装的垫子装有一种抛光化合物(水、油、浆料),用于达到所需的光洁度。计时器单元设置抛光过程的持续时间。此外,抛光垫和桌子之间的真空机允许通过抛光产生的灰尘以包含的方式去除。总体来说,SHIBAYAMA VG 502 MK II是一种例外的晶圆研磨、研磨、抛光工具。VG 502 MK II具有可调节的速度和角度,可实现晶圆材料的精密研磨和抛光,从而实现一致而精确的精加工。此外,它的除尘资产确保有效和安全地清除过程中产生的任何颗粒。这样可以对晶圆材料进行快速一致的抛光,从而确保获得优质的最终效果。
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