二手 OKAMOTO SVG 502 MK II 8 #293586498 待售
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OKAMOTO SVG 502 MK II 8是最先进的全自动晶圆研磨、研磨及抛光设备。这种高效可靠的系统旨在在各种晶片上提供极其精确的表面光洁度。它具有先进的精度、精确度和可重复性,是超高性能生产应用的完美解决方桉。该单元设有一个全封闭的研磨室，里面装有两个独立的晶圆载体。载波为线性X级和Y级，由精密高速无刷伺服电动机驱动，可实现无振动操作。这台机器的工作面积为397mm x 397mm,能够处理直径不超过200 mm的单个晶片,最大研磨面积为130mm。直观的触摸屏显示器允许快速设置更改并确保高生产可靠性。OKAMOTO SVG 502还具有广泛的研磨、研磨和抛光工艺，使其适合各种晶圆。主轴组件配有强大的4kW主轴电机，可提供最大的研磨效率和工艺一致性。为了加强工艺控制，可选的"时间压力"控制工具将施加在晶片上的压力与研磨时间联系起来。此资产允许稳定的晶圆生产率适合特定的应用程序。OKAMOTO SVG 502包含了一个集成的自动晶片加载模型。加载设备允许快速设置和重新加载更改。该系统还包括一个真空装载板，将研磨/抛光工艺与空气污染隔离开来，确保清洁生产。为了额外的安全和可靠性，该单元包括一系列的联锁和警报。这些联锁装置可以感知工作区域内人员的存在，并在不遵守安全协议的情况下关闭机器。OKAMOTO SVG 502建在可靠耐用的平台上，确保生产一致和长期可靠。
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