二手 OKAMOTO SVG 502 MK II 8 #293616605 待售

OKAMOTO SVG 502 MK II 8是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于处理直径达200毫米的基材尺寸。该系统的特点是具有12,000 rpm的高精度平磨主轴和6,000 rpm的单圈主轴。该单元具有单程和双程研磨功能,允许同时生产平坦和高纵横比曲面。该机共包括四个研磨/抛光和研磨站。其中两个工作站配置了可编程粗磨模块，用于晶圆表面的路线研磨。另外两个站采用精密抛光板，用于晶片边缘精加工和精磨。所有四个站都有高度精确的机械、热和空气冷却系统，以提高精度和生产一致性。该工具还包括一个9轴机器人自动化中心，具有2轴垂直运动、4轴炮塔运动、1轴俯仰调节和2轴振荡控制。机器人自动化中心允许无监督的制造过程，而采用集成电子控制单元（ECU）来监控和控制所有机器功能，如主轴速度、螺距、位置和研磨等。该资产采用易于使用的基于PC的用户界面,能够控制所有4个研磨/抛光和研磨站,并且与Windows、Linux和Mac操作系统兼容。用户界面提供了一系列可供用户使用的编程设置,包括机器人辅助的零件拾取和放置、表面精加工、边舍入、填充抛光等。OKAMOTO SVG 502 MKII 8是一种高效、精确的晶圆研磨、研磨和抛光模型,非常适合您最苛刻的晶圆基材需求。它具有高精度研磨和研磨元件、直观的用户界面以及满足苛刻工艺参数的先进自动化设备。它旨在提供尽可能高质量的晶圆基材材料。