二手 OKAMOTO SVG 502 #9158759 待售

OKAMOTO SVG 502是由OKAMOTO Corporation製造的高性能晶圆研磨、研磨及抛光系统。该系统旨在提供大直径硬质和软质材料的超精确加工。SVG 502能够处理两英寸和四英寸晶圆。高质量的主轴保证了晶片表面的精度，这种主轴具有极高的精度和可重复性。OKAMOTO SVG 502的机械设计使其适合于激烈的研磨和抛光活动。它具有坚固的Castiron底座和钢覆盖组件，长期可靠。主轴由具有内置扭矩矢量能力的30千瓦直驱电动机驱动。100 mm离置时的最大研磨速度为13,200 rpm，加速度为2,200 rpm/s。机器通过易于使用的触摸屏界面操作，该界面具有图形用户界面和内置配方编辑功能。SVG 502使用OKAMOTO专有的DAF技术（Diamond Marrasive Film）进行晶圆处理。DAF是一种磨料膜系统，用于实现对硬质材料的超精密加工。该DAF组件包括一个去毛刺金刚石磨料片和一张纸。使用的纸张数量取决于要加工的材料和晶圆的直径。切削后,纸张会从基板上移除,并在达到所需结果时换成新的纸张。DAF片安装在晶圆磨轮上,该轮以确定的速度转动。对RPM和负载进行了精心监控,以达到所需的精度水平。研磨和抛光阶段用于创建光滑的表面光洁度。研磨、研磨和抛光阶段按顺序进行。该工艺在晶片表面上产生小浆料，以便在最后一步被抛光阶段除去。整个过程由一系列不同的步骤组成，所有这些步骤都是高度准确和高度可重复的。OKAMOTO SVG 502的高精度、高重复性使得它非常适合于非常大直径晶片的制造。最终结果是晶片表面光滑均匀，保证了良好的密封完整性。