二手 OKAMOTO VG 502 MKII 8 #293804366 待售

OKAMOTO VG 502 MKII 8是为半导体制造而设计的晶圆研磨、研磨及抛光设备。适用于处理直径8英寸（200毫米）的多层半导体晶片。系统配备了一个8英寸的磨轮和两个8英寸的Bob Gust Type研磨辊。磨轮具有可调的工件速度,射程为0-30米/秒,而研磨辊的工作速度高达6米/秒。该单元有一个3轴级和一个用于精确去除物料的电动高程机。OKAMOTO VG-502 MKII 8利用单线电动机实现高速精确定位。该刀具的最大加速度为4500毫米/秒2，在X-Y平面的可重复性为0.02 μ m。工作面积140 x 140毫米，移动范围1150 x 2550毫米。该资产配备了多种流程监控功能,以确保最佳性能。该模型监测表面质量、振动、车轮速度、车轮直径、车轮压力水平、车轮头温度和压力、表面形状和晶圆偏心率。该设备设计有一个多头装载设施，能够同时处理多达八个晶圆。直流电机和齿轮机构确保车轮头的平稳旋转。VG 502 MK II 8具有易于使用的图形用户界面来编程不同的参数和过程步骤。该系统配有基于PLC的控制电路，用于设置砂轮转速、进料速率和车轮压力等参数。该装置能够进行快速、精确的晶圆研磨、研磨和抛光操作。它与一个可选的原位清洗机可用于保持砂轮清洁。该工具需要最少的维护,并包括内置的安全功能,以保护用户不会意外接触磨轮。