二手 OKAMOTO VG 502 MKII 8 #293831496 待售

OKAMOTO VG 502 MKII 8是一款多用途晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于半导体器件制造组装。该系统能够处理各种复杂的加工任务，从晶圆稀释和研磨，到研磨、抛光，以及各种CMP（化学机械平面化）工艺。OKAMOTO VG-502 MKII 8提供模块化设计，能够处理广泛的基板，如Si、GaAs和InP，用于研发和生产应用。VG 502 MK II 8在一个模块化单元中包含两个刀头：晶圆研磨/研磨头和抛光头。每个磁头通过坚固、高速的无刷直流电机和精密主轴独立驱动，在运行过程中提供稳定的底座。此外，旋转主轴实现高达14,400 rpm的高转速。这种高速的稳定性使得抛光过程中的滑动和极小的均匀性成为可能。VG 502 MKII 8通过6轴工业机器人进行控制，该机器人能够执行复杂的模式以满足所需的精度。它还配备了直观的基于Windows的GUI（图形用户界面），提供了用户友好的体验。此外,该单元的图形功能允许在整个晶圆研磨、研磨和抛光过程中可视化晶圆轮廓,VG-502 MKII 8是一种高度可靠且用途广泛、紧凑、高效且耐用的机器。它采用高精度的微型工具和介质进纸器,确保晶圆的精确处理,以满足对工艺性能的最高要求。该工具能够处理150和200毫米晶片同时具有单面和双面磨削，它可以达到只有2微米的最大间距变化。此外，介质补给资产保证了工具在晶片表面的均匀磨损，确保了一致的高质量。总之，OKAMOTO VG 502 MK II 8是一种先进、高效的晶圆研磨、研磨和抛光模型，在处理各种基材的同时提供一致的结果。它的模块化设计提供了灵活性,而基于Windows的GUI、6轴工业机器人以及微型工具和介质进纸器确保了一致的性能。OKAMOTO VG 502 MKII 8具有2微米的精确音高变化和高效的介质补充设备,是满足先进半导体器件制造和组装要求的可靠解决方桉。