二手 OKAMOTO VG 502 MKII 8 #9036371 待售
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OKAMOTO VG 502 MKII 8是製造商OKAMOTO生产的晶圆研磨、研磨及抛光设备。该系统能够在单个阶段研磨、抛光和研磨直径达8英寸的晶片。OKAMOTO VG-502 MKII 8设计用于研磨、研磨和抛光一系列硅片和基板。该单元包括两个独立的主轴,一个研磨主轴和一个研磨主轴,每一个都有一个电机和精密控制。研磨主轴可以精确控制研磨力,在工艺开发过程中具有广泛的可能性。研磨主轴利用两个独立的机动化磁盘来实现更精细的光洁度。两个主轴都能向前和反向旋转,在过程中提供精确的控制。机器由主单元、工作台和集成控制工具组成。主力部队内装有四个坦克,可用于储存和流通化学品,以应付清洁和蚀刻等后处理需求。工作台由具有扫描头的X-Y轴工作台、3轴数字显示屏和用于在处理过程中控制样品温度的冷却水套组成。综合控制资产允许对流程进行精确的编程和控制。该机设计得极为紧凑,空间效率极高,允许操作员在生产线附近设置。这减少了对样品的手动处理以及移动细腻部件可能造成的潜在损坏。该模型的控制简单直观,允许快速、轻松的设置和操作。VG 502 MK II 8在晶圆研磨、研磨、抛光方面设定了新的标准。其紧凑的设计和精密的控制系统使其成为可用于处理晶圆级过程的最先进的系统之一。这种设备有助于最大限度地提高生产效率,确保晶圆加工质量。
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