二手 OKAMOTO VG 502 MKII 8 #9169688 待售
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OKAMOTO VG 502 MKII 8是一种晶圆研磨研磨抛光机,设计用于半导体工业。它被设计用来加工各种各样的底物,包括硅、石英、移植物、蓝宝石和氮化硅等。它配备精密研磨和抛光主轴,全自动晶圆载体设备,并提供卓越的研磨和研磨性能。该系统提供了一系列功能,可容纳多达8英寸的基片。它能够磨削到0.1 μ米或更高,并能达到高水平的表面粗糙度。通过可调变频器以数字旋转速度对金刚石车轮进行微羽化,实现了高精度的精磨。该装置还配备了自动头缩回功能,可提高晶圆加工过程中的重切削精度和收率。OKAMOTO VG-502 MKII 8具有用户友好的操作机器,带有彩色图形液晶屏,易于操作和刀具管理。资产参数,如研磨和抛光参数、切削和抛光速度以及工艺序列,可以很容易地进行调整和设置。操作员还可以设置晶圆温度和粒子控制参数。由于其主轴电机具有极好的耐用性,因此该型号具有很高的可靠性和易于维护。无刷电动机具有很高的可靠性,并且经过专门设计,可延长使用寿命。设备还配备了内置冷却系统,以减少电机产生的热量。VG 502 MK II 8是要求高效率、高精度的客户的理想选择。适用于膜加工、MEMS器件制造、大型基片包装等应用。该机器为这些和许多其他类型的半导体器件提供了优异的性能和精密的晶片处理。
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