二手 OKAMOTO VG 502 #9223396 待售
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OKAMOTO VG 502晶圆研磨、研磨及抛光设备是晶圆及相关基材精密及半精密研磨、研磨、抛光的一种多合一解决方桉。这种高科技系统旨在满足半导体制造业务的挑战性需求。OKAMOTO VG-502单元由精密磨头、集成抛光头、真空机和两站旋转台组成,均由五轴电动数控定位级驱动。该阶段为磨削和抛光操作提供了卓越的精度,并且可以编程为执行复杂的图样和轮廓。抛光头配备了从研磨模式快速切换到抛光模式等几种便利。此外,细螺纹球形螺丝提供了从一个晶圆到另一个晶圆运动路径的精确可重复性。VG 502工具能够研磨和抛光各种形状和大小的晶圆。CNC定位级可以容纳外部直径在2到250毫米之间的晶圆。此外,还可以对资产进行编程,使其在内部成型和半径范围为2至250毫米的基础上进行研磨。VG-502包括若干安全功能,以实现最佳的可操作性,例如当模型感觉到障碍物时停止使用的压力开关、围绕磨头的灯帘安全开关,以及当检测到断裂时关闭系统的晶片断裂检测设备。此外,真空装置还配备了可听报警机,警告操作员真空泄漏或其他故障情况。OKAMOTO VG 502是一款高效率的机器,提供快速的物流、高吞吐量、高利用率。它能够以高达每分钟20米的速度同时研磨五个晶片。此外,该机提供了与多种材料和化合物的兼容性,集成的晶圆断裂检测工具可以识别小至0.1毫米大小的断裂。先进的设计允许方便的设置和快速的维修。OKAMOTO VG-502晶圆研磨、研磨和抛光资产能够在短时间内产生高质量的结果,其集成的安全特性使其成为精密制造操作的理想解决方桉。
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