二手 OKAMOTO VG 502 #9408618 待售

OKAMOTO VG 502是为生产高级半导体器件和材料而设计的先进晶圆研磨、研磨、抛光设备。它整合了CMP、研磨、抛光技术的原理，提供了一个既适合大批量生产又适合研发的生产平台。它采用顶置主轴伺服驱动系统，将磨轮转速设置为精确，从而保证了卓越的精度和卓越的质量。OKAMOTO VG-502还提供各种砂砾材料的砂轮选择,以适应不同的要求。该单元可以处理不同尺寸和材料的晶片，包括硅、的、III-V化合物和GaAs化合物。这是通过其可移动抛光卡盘实现的，该卡盘可同时容纳8个8"或12个4"晶片，并且可调节以容纳不同大小和形状的晶片。晶片以一定角度和恒定反馈回路通过磨轮，测量磨削的均匀性，自动调整磨削参数，提高精度。该机配备了先进的差分研磨技术，使研磨板可以以均匀连续的磨料颗粒流动进料。然后在研磨区域内进行差分研磨，以改善表面粗糙度、平坦度和平行性。此外，VG 502能够进行全局研磨，从而使整个晶片的研磨一次完成，而不会损坏边缘。整个工具由中央控制单元控制。该资产还配备了温控液体润滑模型，以确保晶圆温度均匀，提高工艺精度。此外,可调节的冷却设备允许系统改变冷却速率,并实时监控工艺参数。这些特性对于确保更高的工艺稳定性和对晶片的最小损害至关重要。VG-502是终极研磨、研磨、抛光装置，提供极其准确可靠的结果。其广泛的工艺参数、可调的冷却速率和专用润滑机，使其成为高端应用的首选。