二手 OPTIPRO ePX 200 #9352927 待售
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OPTIPRO ePX 200是一种精密晶圆研磨、研磨、抛光设备,能达到最高水平的表面光洁度精度和平坦度。该系统设计用于处理2"或4"硅和氮化氙基板,并提供灵活的控制模式,包括手动、半自动和全自动操作。该装置建在大型花岗岩平台上,确保机器在加工过程中保持稳定,即使在重载下也是如此。变速磨头可达5,000 RPM,非常适合在生产超精确曲面的同时控制加工速度。EPX 200采用磨料研磨、研磨和抛光步骤相结合的方式获得最高水平的表面抛光。除了研磨工艺之外,还可以采用两步金刚石研磨步骤,在晶圆两侧实现纳米级表面光洁度。研磨工艺采用OPTIPRO专利旋转和固定金刚石杯轮,以保证卓越的均匀性和高品质的表面饰面。最后,该工具的高速抛光工艺利用了一系列精密金刚石浆料,进一步提高了晶圆的表面光洁度和平坦度。OPTIPRO ePX 200提供多种安全功能,如工具和工作休息护罩、控制锁和滑动离合器制动器。该资产还配备了用户友好的数字界面和7英寸触摸屏显示屏,使用户可以完全控制设置和操作参数。该模型允许用户实时监控流程条件,并存储流程数据以供参考和调整。此外,ePX 200还可以通过灵活卡盘、自动装载机、自动卸载机等多种配件和选项进行定制。总体而言,OPTIPRO ePX 200是一种可靠、有效的晶圆研磨、研磨、抛光设备,能够达到最高水平的表面光洁度精度和平坦度。凭借其强大的设计和先进的安全功能,ePX 200是任何需要在小直径晶片上获得最高等级表面光洁度的组织的完美系统。
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