二手 OPTOTECH ASM 60 Twin Cut #293591890 待售

OPTOTECH ASM 60 Twin Cut是一款晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在满足半导体行业的精密要求。该系统采用双切削工艺，将全磨损切削的柔韧性与研磨工艺的速度相结合。磨削和研磨步骤结合成一个单一的工艺阶段，得到了优异的表面光洁度和较高的材料去除率。该装置能够实现较高的材料去除率，而不会过度磨损磨削工具，以及微粒产生。机器可以处理任何6至150毫米大小的晶圆，重量容量为10公斤，摆动角度可达+/-180。它具有可单独调节的平台布置、自动化的刀具转换以及高度敏感的平移轴控制机器。该机还配备了冷却水供应、排尘出口、样品收集容器和远程诊断控制端口。双切削工艺是一种高效且用途广泛的工艺，可实现精确的表面光洁度和高的材料去除率。它采用两步研磨操作，两个研磨盘交替向两个方向研磨晶片。这种方法使磨削更加均匀，缩短了加工时间，提高了生产率，改善了表面光洁度，降低了磨削力。ASM 60 Twin Cut使用具有高弹性的SiC磨料，确保晶圆表面的均匀、高精度研磨。这一过程还配备了主动清洗和冷却，以保护先前加工过的工件免受后续研磨产生的碎屑的影响。研磨过程采用先进的气流工具进行，以确保晶圆表面的高精度、过程安全的环境。该资产还具有先进的自动化装卸模型，该模型与研磨工艺集成在一起。这是一种高效的搬运设备，已被证明可以大大减少装卸时间。ASM 60还可以与其他自动化设备集成，以进一步减少人类参与，从而缩短周期时间，提高结果质量。OPTOTECH ASM 60 Twin Cut为实现高精度研磨应用提供了高效、经济高效的方法。它旨在满足半导体行业的苛刻需求,在高生产环境中提供卓越的吞吐量和成本节约。