二手 OPTOTECH ASM 80 #9198173 待售

OPTOTECH ASM 80是为制造各种半导体器件而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它配有一个半导体研磨单元和一个用于抛光指定基板的三轴表。该研磨单元采用金刚石轮和高精度伺服驱动，能够对复杂形状和平面进行精密研磨，并以最小限度的材料去除。研磨过程采用金刚石和胶体浆料以及锋利的氧化铝浆料组合进行，以帮助加速该过程。氧化铝浆料有助于在基质上产生纳米级饰面，而金刚石浆料则可产生高产产量。ASM 80抛光站设有两个抛光头，与两个独立的金刚石控制器相连。每个抛光头都有一个机械臂和一个特殊的垫架，能够精确定位和速度控制。控制器还具有自动对焦控制系统、基板保护单元、接触角调节机等内置功能。使用自动抛光程序可以精确控制经过的时间和控制抛光的参数的精确设置。该程序还允许调整接触角和垫与基板之间的压力。OPTOTECH ASM 80设有内建厚膜再生站，可达到精确的基板厚度达0.2毫米。再生站有可调节的速度、压力和磨料设置，以及一个特殊的压力释放工具，有助于保护精致的基板。最后，ASM 80能够进行抛光后测量，包括使用近场光学显微镜和扫描电子显微镜测量基板平坦度和表面纹理的能力。该资产还能够现场测量基板和抛光垫之间的接触角度。总体而言,OPTOTECH ASM 80是一款用途广泛、用户友好的晶圆研磨、研磨和抛光模型,具有高精度性能,非常适合在半导体器件制造行业中提供卓越的质量结果。