二手 PETER WOLTERS AL2 #155749 待售
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已售出
ID: 155749
优质的: 1968
Double faced Lappers
Plate ext. diameter : 840 [mm]
Plate int. diameter : 210 [mm]
Number of satellites : 4
Satellites diameter : 340 [mm]
Diamond honing
Part maxi height : 20 [mm]
Honing : 1 or 2 faces
Rotation speed lower plate : 31-62 [rpm]
Rotation speed upper plate : 33-66 [rpm]
Shaft between parts rotation speed : 17/28/45/70/113 [rpm]
Motor power : 10 [kW]
Upper plate pressure : 0to 0.125 [kg/mm2]
Central system for driving satellite (gear) has been removed
Satellites do not rotate on themselves
Units were upgraded in 2006
1968 vintage.
PETER WOLTERS AL2是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于在多种材料上实现非常高的性能。这种多用途系统具有两个独立的磨头,一个用于研磨的c轴头和一个用于抛光操作的平头。该装置设计用于处理300 mm以下的微型晶片,非常适合陶瓷、硅和玻璃基板等应用。该机配备闭环伺服控制,确保可重复、精确运行。完整的PLC控制允许自动实施各种晶圆研磨、研磨和抛光工艺。集成的2D视觉工具允许在过程中测量晶圆直径,并确保在严格的公差范围内始终执行研磨、研磨和抛光过程。该资产可以同时运行3个研磨或抛光过程,并且可以通过3个研磨速度进行配置。该模型还具有内置的空气冷却设备,可帮助该过程,并有助于在整个过程周期中将温度保持在最佳水平。该系统利用高精度金刚石工具实现一致和高性能的结果。它可以使用金刚石浆料研磨和金刚石抛光垫抛光,可以达到低至Ra 0.1µm的表面粗糙度。该装置具有可调的研磨深度参数,具有自上而下的研磨模式,可实现各种晶圆厚度。机器有一个自动化的零件处理工具,以确保晶片可重复对准和转移到后续的处理阶段。它还配备了安全互锁资产,以保证用户的安全。此模型采用无刀具设置,使研磨机模块易于快速交换。最后,PETER WOLTERS AL 2是一种高度先进和先进的多功能晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统具有精确度、准确性和可重复性,非常适合在电子和微电子元件生产中需要高性能的行业中使用。
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