二手 PETER WOLTERS AL3P #9003984 待售

PETER WOLTERS AL3P是一种专门设计用于现代半导体制造设施的自动晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统的设计目的是为大规模生产以及直径达200毫米的小批量晶片提供高效率和生产率。该单元中的各种组件设计为易于集成到现有或新的生产线中。该机包括一个龙门式Y轴单元、一个C轴旋转台、一个抛光站、一个研磨站和一个研磨站。Y轴单元由一个坚固的托架和循环球形螺钉组成,可提供高达200m/min的快速移动速度。集成的C轴旋转表提供了超过+/-0.03度旋转的高精度和可重复性。夹紧晶片,然后用主轴驱动器固定。研磨站采用与PLC控制器集成的主轴传动装置，以预设的研磨参数进行精密研磨。研磨站完全自动化，与PLC控制器集成，在研磨控制过程中精度准确。还嵌入了一个原位温度控制工具，用于与PLC控制器进行温度监测，以确保均匀的研磨结果。抛光站由多达四个抛光头组成，由高性能无刷电动机提供动力，提供均匀的抛光运动，平均位置精度为+/-1um。这一强大而高效的资产还与可选的愿景模型集成在一起,从而实现了生产的灵活性。设备配有PC工作站，具有用户友好的软件界面，便于查看生产数据、监控生产程序和将数据导出到Excel纸张。总体而言,AL3P系统高效、可靠且用户友好,旨在最大程度地提高制造工厂的生产率,同时提供最佳且一致的晶圆研磨、研磨和抛光效果。