二手 PETER WOLTERS MicroLine AC 1500-P #9308073 待售
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PETER WOLTERS MicroLine AC 1500-P是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。其主要特点是工作面积大、吞吐量高、效果精准。该系统设计用于采集高达8000mm ²的大型样品,并以高达3000mm ²/min的速度进行处理,具有高精度、准确性和可重复性。工作区域可通过两轴角调节和无级速度变化进行调节,而微主轴确保精确的结果,平均精度高达0.05 µm。MicroLine交流1500-P具有广泛的功能,旨在改进晶圆研磨和抛光工艺。其中包括减振的主动减振器、确保高重复性的浮动底板、自动自动级补偿以及使用专利直接接触冷却机的冷却剂应用单元。该工具还包括一系列自动化过程的工具,例如用于编程和监控的双光束光学资产、用于确保质量控制的工件持有人检查模型,以及便于配方管理的软件。该设备具有一系列安全特性,包括一个安全离合器系统,以提高操作过程中的安全性,以及一个运动控制单元,以确保在整个磨削和抛光过程中的最佳过程控制。最后,PETER WOLTERS MicroLine AC 1500-P是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光机,具有多种特点,在处理高通量大样品的同时,保证高精度和精确度。它可以与一系列安全功能一起使用,并具有一系列自动化工具,旨在使过程更轻松。
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