二手 POPE P 32TT KUA #9149623 待售
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由Peter Wolters GmbH制造的晶圆研磨、研磨和抛光系统POPE P 32TT KUA是一种专门为半导体工业中的研磨、研磨和抛光晶圆而设计的自动化机器。用于光刻或离子植入过程中晶片薄膜层的脱皮和处理。P 32TT KUA具有模块化和紧凑的设计、较小的外观尺寸和坚固的结构。装备精良,处理精度高,可长期重复。该机包括一个主金刚石磨轮单元与一个集成的旋转交叉进给主轴。主轴具有较高的表面质量和较低的振动,并且在工艺参数的配置上具有很高的灵活性。主轴运动由具有高精度伺服控制的直驱电动机驱动,非常适合高速过程。POPE P 32TT KUA上的磨轮单元安装在高精度主轴系统上,可以很短的设置时间和方便的刀具转换。该系统包括一个用于快速车轮切换的旋转刀架,广泛的磨料,以及高达2000 rpm的可调车轮转速。它还提供了一个用于磨轮轮廓分析的轮廓跟踪器,这是保持精确晶圆特性的宝贵工具。P 32TT KUA还配备了垂直搭接底座,可用于各种基板的研磨和精细抛光。搭接底座包括一个整合式蒸发器,用于翻新磨削表面。它还集成了高精度的线性驱动,允许最小振动和高定位精度。此外,POPE P 32TT KUA还配备了一个压板供应和取料装置,可以对比平时更大的基板进行研磨、研磨和抛光。P 32TT KUA是一种高精度的工业机器,性能优异。它提供坚固的设计、高精度的伺服控制和高速主轴,即使公差很紧,也能保证最佳处理。它的各种升级和配置选项允许精确处理和快速处理任何类型的晶圆。
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