二手 ROBERT HAGEMANN Class 100 #293662487 待售

ROBERT HAGEMANN 100级晶圆研磨研磨抛光设备设计用于半导体工业的研发应用。该系统结合了硅晶片的精密抛光，以实现测量精度和可重复性。它利用直驱马达驱动研磨/研磨/抛光柱塞，方便精确的晶圆运动和修饰操作。电源为单相230 VAC TO 120 VAC,功率为60Hz,因此该设备适用于洁净室和实验室环境。这台机器具有坚固的设计，由高质量的材料和部件构成。外观采用不锈钢建造，可长期使用和保护。顶部包含精密接地板,这些板能够以毫米精度进行晶圆处理。操作员面板包含触摸屏和液晶屏,用于实时反馈精密过程。人工控制的用户界面允许输入与机器的三个进程相关的首选项。可以调整设置以适应不同的晶圆类型并保持深度目标。它还具有内部控制台,用户可以在其中监视各种参数,包括压力、温度、速度和磨料尺寸。磨削过程从低速湿磨和接触磨料开始。这个过程消除了晶圆表面的缺陷和不规则性。之后,晶片被移动并压在研磨压板上。对于研磨，将磨料洒在压板上，并消除磨削过程中产生的轻微的不规则性和微毛刺。最后，抛光工艺消除了剩余的纵向，横向，并通过暴露于磨料和空气在高和一致的速度进出表面划痕。最后，当达到所需表面光洁度时，再仔细检查晶圆，并记录计量数据。100级晶片研磨、研磨和抛光工具配备了所有必要的工具和技术,用户可以在硅晶片上达到最先进的精细光洁度,从而提高设备性能。是半导体行业研发单位、系列生产、协作项目的理想选择。