二手 ROYAL MASTER TG-12x3 #293829276 待售

ROYAL MASTER TG-12x3晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种精密研磨、研磨和抛光机,旨在为各种半导体和微电子器件在晶圆上产生极其平坦的表面。系统可处理直径达12英寸、厚度达3mm的晶片。该机组配备了坚固、重型的研磨主轴和水冷研磨头，可实现晶圆的高速、高精度研磨。研磨主轴安装在坚固的直线轴承导轨机上，能够在三个轴上精确移动。直线轴承导轨工具由伺服电动机驱动，提供高精度定位和可重复性。资产的研磨部件具有一个带有真空卡盘的双面轴架来固定晶圆，允许在两个轴上精确移动。真空卡盘横向安装在直线轴承导轨模型上，以实现沿X轴和Y轴的精密调整。研磨由水冷金刚石圈盘处理。研磨盘安装在伺服驱动的横向级，提供了研磨盘坚固而精确的运动，使得晶圆表面非常精确的平面化。晶片的抛光采用双抛光头设计，中间有精密的调平设备。这样可以消除任何边缘舍入,并确保晶圆表面非常平坦。抛光头配有水冷特性，有助于确保晶片部分在抛光过程中保持均匀均匀。该系统安装在洁净室内，并连接到一个独立的水过滤单元，以确保清洁、无碎屑的水用于研磨、研磨和抛光过程。这台机器还配备了自动晶片处理工具，可以加载和卸载晶片，从而使资产在洁净室环境中易于安全运行。TG-12x3晶片研磨、研磨和抛光模型是为快速、易于设置和全过程可重复性而设计的。凭借其先进的特点，该设备能够为各种半导体和微电子器件在晶片上产生极其平坦的表面。