二手 SAGITTA Gemini CX #9131726 待售

ID: 9131726
Polishing fixture.
SAGITTA Gemini CX是一款高性能晶圆研磨、研磨、抛光设备。双子座CX由高速运行的旋转研磨主轴和在高达500 RPM或更高范围内连续振荡的研磨盘组成。磨盘精确接触点处的磨削力动态控制可调,以满足应用的具体要求,使非常薄的晶片能够精确的调平。SAGITTA Gemini CX的高材料去除率是通过使用先进的研磨和抛光磨料而得以实现的,而均匀的研磨力允许更高效、更精确的研磨操作。双子座CX的双反旋转圆盘使晶圆加工和制备具有超细特性的薄膜结构成为可能。该系统具有先进的研磨和抛光流体,经过优化,可减少颗粒物的形成,产生最小的研磨热量和减少工件变形。使用高效的研磨和抛光流体可以加快操作速度,减少频繁更换圆盘的需要。SAGITTA Gemini CX的机器构造使得在研磨或抛光操作过程中能够保持一致的砂砾尺寸。这是通过使用两级磨盘实现的,该磨盘的设计目的是尽量减少灰尘和污染渗透。其整体机器结构也减少了研磨作业过程中的振动,保证了研磨表面的光滑,优化了空间分辨率。自动化方面,双子座CX配备了智能晶圆处理单元。这台机器允许机器识别每个晶片相对于主轴和磨盘的位置和方向。除了晶片的自动装卸外,该工具还提供了对过程参数的精确控制和执行,如研磨速度和压力。总体而言,SAGITTA Gemini CX是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光资产。由于薄膜晶片的动力控制模型、先进的研磨抛光磨料、高效的研磨抛光流体、两级研磨盘和智能晶片处理设备,为薄膜晶片的超细结构特性提供了较高的材料去除率和高效的研磨。双子座CX在晶圆研磨抛光方面的无与伦比的精确度,使其成为各种工业应用的理想解决方桉。
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