二手 SATISLOH Auto-Flex #293587835 待售

SATISLOH Auto-Flex是一种自动化的晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在最大限度地提高硅器件应用制造工艺的质量和吞吐量。该系统的工作原理是对晶片表面进行研磨和研磨磨料，然后使用抛光盘来完成表面平面化。Auto-Flex采用自动加载、抛光和卸载单元构建,可实现更高效、更一致的操作。晶片放在自动装载机上，机器人手臂序列定位并准备晶片进行抛光。然后，机械臂将晶片移动到研磨部分，在该部分自动应用研磨圆盘和磨料，以便对表面进行所需的研磨和平滑处理。最后，机械臂将晶片带到抛光站，在那里抛光直到均匀且在公差范围内。该机采用可调节的固定臂和压力弹簧，使晶片自动与研磨和研磨盘接触，提高了工艺质量和精度。该工具还允许自定义施加在晶片上的压力量，以及调整功率、旋转速度和圆盘角度。SATISLOH Auto-Flex资产具有高级安全功能,如紧急停止按钮、过载保护模型和紧急关闭开关。它还包括温度控制，防止晶片过热，从而导致变色和粘附较差。此外，该设备还利用集成软件和图形用户界面来跟踪研磨和研磨周期，提供过程监控和记录保存。Auto-Flex在工艺设置方面具有极好的重复性和灵活性，晶圆的压力可调节，以进行更精细的研磨和抛光。它能够快速自动化流程,这也使它比其他手动系统更具时间效率和成本效益。最后,该系统提供了较低的人工需求,从而降低了人为错误的风险,同时确保了产品质量的一致性。