二手 SATISLOH Auto-Flex #293589758 待售

SATISLOH Auto-Flex是一款先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在为半导体晶圆提供最好的光洁度。系统配置为处理直径从2"到12"的圆形晶片的各种尺寸。该装置采用两阶段工艺，可同时研磨、研磨和抛光。该工艺的第一阶段采用抛光压力、冷却水流和冷却剂润滑相结合的方式，创造出一致的抛光表面。第二阶段采用专有抛光垫，独特的数控研磨和研磨头几个平面的完美完成与边缘如此紧密，他们看起来肉眼看不见。本机采用坚固、风机冷却的主轴电机驱动抛光垫和双功能控制电机，该电机操作的背板可固定抛光垫，而研磨头可暴露数控研磨金刚石段以进行研磨。这种组合允许非常一致和精确的结果。Auto-Flex还配备了最先进的清洁工具,包括在抛光工艺之前清除任何粉末或灰尘。除了晶片研磨、研磨和抛光外,该资产还能够现场评估成品晶片表面的质量及其整体平整度。SATISLOH Auto-Flex模型在要求最苛刻的半导体处理环境中提供了易于操作、高度精确的控制和长期可重复性。它旨在提供最高质量的光洁度,同时消耗低能耗和满足严格的环境标准。该设备还包括一个通过变频驱动器（VFD）优化晶圆光洁度和形状的后处理器,可针对特定晶圆尺寸、最佳均匀性和直线性进行编程。这样就可以生产出始终如一的高质量晶片。Auto-Flex是半导体晶圆研磨、研磨、抛光的终极系统，为晶圆加工提供了最高质量、可重复的结果。