二手 SATISLOH Auto-Flex #293618556 待售

SATISLOH Auto-Flex是专门为半导体、光电和微电子工业的精密应用而设计和建造的自动化精密晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统利用机器人晶片处理对晶片和其他敏感基板进行自动研磨、研磨和抛光，确保每种基板的高精度和重复性。来自SATISLOH的Auto-Flex单元提供多功能功能，允许用户减少加工时间，提高产品表面质量。来自SATISLOH的SATISLOH Auto-Flex机器由坚固的光学处理工具、精密的控制平台和研磨、研磨、抛光工艺模块组成。采用灵活、模块化的设计,可以根据每个应用程序的特定工艺要求量身定制该资产,使其产生最大表面粗糙度为1 µm的高质量结果。Auto-Flex模型还允许集成能够更快、更精确地定位晶圆的特征识别和对齐站。SATISLOH Auto-Flex设备随附的集成化学处理模块专门设计为独立于主系统运行，并允许高精度和可重复性的晶圆自动化处理。这确保了用户能够精确控制无污物表面光洁度和加工过的基板的总平整度。除此以外，该单元还可以与边缘磨削和去毛刺等专门的工艺周期集成在一起，从而实现更高水平的工艺自动化和准确性。这台来自SATISLOH的机器能够处理任何直径从100毫米到300毫米不等的晶片，提供灵活性和范围，以满足每个应用程序的生产要求。通过模块化设计,该工具能够提供无与伦比的过程控制和效率,从而产生一致的可重复结果。资产在闭环控制平台上运行，还提供可选的视觉系统，这些系统可以集成以实现更高的精度。总体而言，来自SATISLOH的Auto-Flex模型是一种高效且可重复的精密晶圆研磨、研磨和抛光设备，为用户提供了一种处理敏感基板的高度可靠和经济高效的解决方桉。该系统允许用户自定义以满足其特定应用，从而产生无与伦比的结果和可重复性。