二手 SATISLOH Auto-Flex #293637320 待售
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SATISLOH Auto-Flex是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在实现硅片的最高表面平面度和平面化。该系统具有高精度的双轴运动单元,在研磨和抛光过程中加工晶片时,可精确控制晶片的转速和轨道运动。即使具有高频特征和复杂的表面地形,由此产生的平整度和平面度也非常出色。Auto-Flex在加工超薄特种晶片时使用专利的平力补偿机。此工具旨在最大程度地减少来自标称力的干扰,并确保高质量的曲面。SATISLOH Auto-Flex配备了多项附加功能，可实现更大的控制和灵活性，如可调节的主轴振动和载荷，计算机生成的增厚或变薄轮廓，积极的洗涤，液体冷却，去毛刺。Auto-Flex利用独特的模具资产,可以调节焊盘和模具工作站,以最精确地控制晶圆的尺寸和形状。可调模具模型，结合SATISLOH精密陶瓷轮，允许最大精度和重复性。SATISLOH Auto-Flex还具有一个自我监控设备，通过不断检查车轮磨损和车轮旋转来确保峰值性能。除了精确的加工能力外，Auto-Flex还可以通过其车载计量站提供精确的计量性能。该站设有精确扫描系统和光学剖面仪，可以快速准确地评估整个晶圆表面。扫描单元能够定位和测量任何非平面特征、均匀性和总表面平面度。SATISLOH Auto-Flex是一个完美的解决方桉,适合那些希望根据硅片需求达到最高平面化和平面化程度的客户。它配备了质量最高的部件和特点，可精确重复使用，极具用户友好性。Auto-Flex是创建最精确的精加工曲面的完美解决方桉。
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